[위즈뉴스] 광운대 학부생이 발표한 '차세대 반도체소자' 관련 연구논문이 SCI급 국제학술지에 게재됐다.
광운대학교는 2일, 전자재료공학과 4학년 신중원 학생의 논문이 국제학술지 'AIP(American Institute of Physics) Adavnces' 7월호에 게재됐다고 밝혔다.
신중원 학생은 이번 연구에서 차세대 디스플레이 분야의 핵심적인 재료로 기대되는 비정질 상태의 산화물 반도체가 가지고 있었던 안정성과 신뢰성의 효과적인 개선을 위해, 기존의 저항가열 방식이나 할로겐램프를 이용한 급속 열처리 방법이 아닌 마이크로파 조사 방법을 통해 저온에서 단시간의 열처리 공정으로도 비정질 산화물 반도체의 결함을 효과적으로 제거할 수 있다는 것을 확인한 것으로 전해졌다.
해당 논문은 '고성능의 비정질 산화물반도체 박막트랜지스터 제작을 위한 저온열처리 기술'이라는 제목으로 학술지에 게재됐다.
이번 연구와 관련해 지도 교수인 조원주 교수(전자재료공학과) “해당 연구는 차세대 반도체소자 제조에서의 마이크로파 적용 가능성을 확인한 것”이라며 “마이크로파는 효율적인 에너지 사용이 가능하기 때문에 생산비용 절감을 통해 반도체 제품의 경쟁력을 향상시키는 것은 물론,친환경적으로 파급효과가 큰 미래기술이라는 것을 증명했다”고 말했다.
신중원 학생은 “전자레인지에 쓰이는 마이크로파가 단순히 음식을 데우는 것에만 쓰이는 것이 아니라 최첨단 반도체 소자 제작에도 활용될 수 있다는 것이 무척 흥미로웠다”며 “앞으로 대학원에 진학하여 마이크로파를 활용한 반도체 집적공정기술 분야 연구에 매진하고 싶다”고 소감을 밝혔다.
한편, 신중원 학생은 반도체융복합기술연구소의 반도체첨단기술연구실에 소속되어 2016년 한국전기전자재료학회 하계학술대회 우수논문상, 2016년 한국전기전자재료학회 추계학술대회 우수논문상, 2017년 한국전기전자재료학회 하계학술대회 우수논문상을 수상했다.
